研究表明，紫外线主要是通过对微生物(细菌、病毒、芽孢等病原体) 的辐射损伤和破坏核酸的功能使微生物致死，从而达到消毒的目的。紫外线对核酸的作用可导致键和链的断裂、股间交联和形成光化产物等，从而改变了DNA的生物活性，使微生物自身不能复制，这种紫外线损伤也是致死性损伤。
表面杀菌中的应用，UV表面杀菌广泛应用于食品、电子、半导体、液晶显示器、等离子电视、水晶振动子、精密器件、化工、医学、保健、生物、饮料、农业等领域。UV光源照射食品、材料等表面，具有快速高效、无污染的杀菌效果，从而维持产品的高品质。与传统的杀菌方法相比，表面杀菌具有杀菌速度快，可进行连续处理和批量处理，操作简单，环保无二次污染，不另增加消毒副产物；杀菌范围广而迅速，处理时间短，在一定的辐射强度下一般病原微生物仅需十几秒即可杀灭，能杀灭一些化学消毒法无法灭活的病菌，还能在一定程度上控制一些较高等的水生生物如藻类和红虫特点。
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